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本スタンダードは，FPD用カラーフィルタの耐薬品性を評価するための試験方法を2つ規定する。一方は，定性的であり，もう一方は定量的なものである。
SEMI E5-89 (technical revision)
SEMI E139 — Specification for Recipe and Parameter Management (RaP)
SEMI ME1392-0305 (technical revision)
SEMI E5-1102 (technical revision)
S02200 - SEMI S22 - 半導體製造設備電氣設計安全基準 StdPbc-0323 本スタンダードは，FPD用カラーフィルタの耐薬品性を評価するための試験方法を2つ規定する。一方は，定性的であり，もう一方は定量的なものである。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. 3 Referenced SEMI StandardsSEMI E33 Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Electromagnetic Compatibility (EMC)SEMI S1 Safety Guideline for Equipment Safety LabelsSEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor