E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様 Revision:SEMI E159-0912 - Superseded 本文書では，LonWorksのデバイスに対して確立されたLonMark Interoperability Guidelines （LonMark相互運用ガイドライン）を使用したSEMI共通デバイスモデル（CDM）のLonWorksテクノロジへのマッピングを指定する。LonMark International

本文書では，LonWorksのデバイスに対して確立されたLonMark Interoperability Guidelines （LonMark相互運用ガイドライン）を使用したSEMI共通デバイスモデル（CDM）のLonWorksテクノロジへのマッピングを指定する。LonMark International Associationは，このネットワーク通信に関する文書に記載された強化されたSEMI LonMark機能プロファイルを検討，承認し，必要なSEMIプロファイルをLonMarkインテオペラビリティガイドラインに組み込む予定である。

• Carrier ID assignment

The purpose of this Test Method is for the measurement of all four elemental concentrations accomplished in one test and using one SIMS instrument

It defines the view of the equipment through the SECS II link

orgで，そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1992年発行，前版は2000年10月発行。

E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様 Revision:SEMI E159-0912 - Superseded 本文書では，LonWorksのデバイスに対して確立されたLonMark Interoperability Guidelines （LonMark相互運用ガイドライン）を使用したSEMI共通デバイスモデル（CDM）のLonWorksテクノロジへのマッピングを指定する。LonMark InternationalSEMI SEMI Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee20131223global Audits and Reviews Subcommittee20116www. semiviews. org www. semi. org2011620129 SEMI M74450 mm 450 MACMACFOUPFOUPMAC 450mm 450mm 450 mmKCP 3 Referenced SEMI Standards SEMI E1. 9 Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers SEMI E30. 1 Inspection and Review Specific Equipment Model (ISEM) SEMI E144 Provisional Specification for RF Air